昨天，坐落于余杭區(qū)的浙江大學校友企業(yè)總部經濟園傳出喜訊——

杭州城西科創(chuàng)大走廊浙大成果轉化基地首批簽約孵化的項目之一，“首臺國產商業(yè)化電子束光刻機”已在客戶現(xiàn)場進入應用測試，其精度比肩國際主流設備，標志著量子芯片研發(fā)從此有了“中國刻刀”。

在中國科技大學，浙大量子研究院相關團隊正在對一臺模樣酷似大型鋼柜的機器進行緊張測試，電子顯示屏上不斷閃爍著實時參數(shù)。“這不是普通的機器，而是一支能在頭發(fā)絲上雕刻出整座城市地圖的‘納米神筆’。”團隊負責人說，依托省重點實驗室，研究院自主研發(fā)的新一代100kV電子束光刻機“羲之”已正式走向市場。

取名“羲之”，是因其精密“書寫”能力與書法家王羲之的毛筆神韻相契合。

“只不過我們的‘毛筆’是電子束，在芯片上刻寫電路。” 研發(fā)團隊相關負責人介紹，這臺設備專攻量子芯片、新型半導體研發(fā)的核心環(huán)節(jié)，它通過高能電子束在硅基上“手寫”電路，精度達到0.6納米，線寬8納米，可靈活修改設計圖案，無需傳統(tǒng)光刻所需的掩膜版，如同用納米級毛筆在芯片上精準作畫。“芯片研發(fā)初期會設計很多版型、圖案，常常需要一條線一條線進行修改，電子束光刻機精度高、‘書寫’便捷，極大提升了芯片研發(fā)初期反復調試的效率。”研發(fā)團隊相關負責人說。

“羲之”的落地具有破局意義。此前，此類設備受國際出口管制，國內頂尖科研機構和企業(yè)長期無法采購，“羲之”的落地徹底打破這一困局，目前已與華為海思等企業(yè)及多家科研機構展開接洽。

浙大校友企業(yè)總部經濟園二期實景圖

其成功并非孤例，背后是科技創(chuàng)新與產業(yè)創(chuàng)新“兩新融合”的強力驅動。今年7月，省級教育科技人才一體改革專項試點項目落地于余杭的浙江大學校友企業(yè)總部經濟園，浙江大學、校友總部經濟園和余杭共同聯(lián)手搭建成果轉化高速路：園區(qū)企業(yè)開出“技術需求清單”；浙大教授帶研究生組隊“揭榜”；地方政府從實驗室樣品到量產產品，全流程陪跑。

“羲之”電子束光刻機的成功應用測試，是我國高端半導體核心裝備國產化的重大突破。這把自主可控的“中國刻刀”，將為加速國產高端芯片的研發(fā)進程、搶占未來科技制高點提供堅實的裝備基礎。

今年以來，余杭堅持以教育科技人才一體改革發(fā)展為主要支撐，以科技創(chuàng)新和產業(yè)創(chuàng)新深度融合為關鍵路徑，以人工智能為核心變量，整合建立教育科技人才一體推進機制，全力推進3個新獲批的省級教育科技人才一體改革專項試點，謀劃并實施一批教科人標志性項目。

下一步，余杭將依托教科人一體推進機制，圍繞高能級科創(chuàng)平臺、高層次科技人才、高水平科技企業(yè)、高質量科技項目、高價值科技金融等“五高”主體，打造更多標志性成果，全力建設教育科技人才一體發(fā)展示范高地。